La tercera casi seguro que no. Pero, ¿y la primera y la segunda? ¿Cuál es la correcta?
Por un lado, Google usa "metaetiqueta" en sus páginas de ayuda. Ejemplo:
Metaetiquetas que Google entiende
Por otro lado, en la Wikipedia, aparece "meta etiqueta" (separado):
Estas meta etiquetas también se usan para especificar cierta información técnica...
¿Cuál sería la correcta y por qué?